Посещая этот сайт, вы принимаете программу использования cookie. Подробнее о нашей политике использования cookie.
Перезвоним за 30 секунд. Бесплатно!

ГОСТ 25948-83

ГОСТ 33729-2016 ГОСТ 20996.3-2016 ГОСТ 31921-2012 ГОСТ 33730-2016 ГОСТ 12342-2015 ГОСТ 19738-2015 ГОСТ 28595-2015 ГОСТ 28058-2015 ГОСТ 20996.11-2015 ГОСТ 9816.5-2014 ГОСТ 20996.12-2014 ГОСТ 20996.7-2014 ГОСТ Р 56306-2014 ГОСТ Р 56308-2014 ГОСТ 20996.1-2014 ГОСТ 20996.2-2014 ГОСТ 20996.0-2014 ГОСТ 16273.1-2014 ГОСТ 9816.0-2014 ГОСТ 9816.4-2014 ГОСТ Р 56142-2014 ГОСТ Р 54493-2011 ГОСТ 13498-2010 ГОСТ Р 54335-2011 ГОСТ 13462-2010 ГОСТ Р 54313-2011 ГОСТ Р 53372-2009 ГОСТ Р 53197-2008 ГОСТ Р 53196-2008 ГОСТ Р 52955-2008 ГОСТ Р 50429.9-92 ГОСТ 6836-2002 ГОСТ 6835-2002 ГОСТ 18337-95 ГОСТ 13637.9-93 ГОСТ 13637.8-93 ГОСТ 13637.7-93 ГОСТ 13637.6-93 ГОСТ 13637.5-93 ГОСТ 13637.4-93 ГОСТ 13637.3-93 ГОСТ 13637.2-93 ГОСТ 13637.1-93 ГОСТ 13637.0-93 ГОСТ 13099-2006 ГОСТ 13098-2006 ГОСТ 10297-94 ГОСТ 12562.1-82 ГОСТ 12564.2-83 ГОСТ 16321.2-70 ГОСТ 4658-73 ГОСТ 12227.1-76 ГОСТ 16274.0-77 ГОСТ 16274.1-77 ГОСТ 22519.5-77 ГОСТ 22720.4-77 ГОСТ 22519.4-77 ГОСТ 22720.2-77 ГОСТ 22519.6-77 ГОСТ 13462-79 ГОСТ 23862.24-79 ГОСТ 23862.35-79 ГОСТ 23862.15-79 ГОСТ 23862.29-79 ГОСТ 24392-80 ГОСТ 20997.5-81 ГОСТ 24977.1-81 ГОСТ 25278.8-82 ГОСТ 20996.11-82 ГОСТ 25278.5-82 ГОСТ 1367.7-83 ГОСТ 26239.9-84 ГОСТ 26473.1-85 ГОСТ 16273.1-85 ГОСТ 26473.2-85 ГОСТ 26473.6-85 ГОСТ 25278.15-87 ГОСТ 12223.1-76 ГОСТ 12645.7-77 ГОСТ 12645.1-77 ГОСТ 12645.6-77 ГОСТ 22720.3-77 ГОСТ 12645.4-77 ГОСТ 22519.7-77 ГОСТ 22519.2-77 ГОСТ 22519.0-77 ГОСТ 12645.5-77 ГОСТ 22517-77 ГОСТ 12645.2-77 ГОСТ 16274.9-77 ГОСТ 16274.5-77 ГОСТ 22720.0-77 ГОСТ 22519.3-77 ГОСТ 12560.1-78 ГОСТ 12558.1-78 ГОСТ 12561.2-78 ГОСТ 12228.2-78 ГОСТ 18385.4-79 ГОСТ 23862.30-79 ГОСТ 18385.3-79 ГОСТ 23862.6-79 ГОСТ 23862.0-79 ГОСТ 23685-79 ГОСТ 23862.31-79 ГОСТ 23862.18-79 ГОСТ 23862.7-79 ГОСТ 23862.1-79 ГОСТ 23862.20-79 ГОСТ 23862.26-79 ГОСТ 23862.23-79 ГОСТ 23862.33-79 ГОСТ 23862.10-79 ГОСТ 23862.8-79 ГОСТ 23862.2-79 ГОСТ 23862.9-79 ГОСТ 23862.12-79 ГОСТ 23862.13-79 ГОСТ 23862.14-79 ГОСТ 12225-80 ГОСТ 16099-80 ГОСТ 16153-80 ГОСТ 20997.2-81 ГОСТ 20997.3-81 ГОСТ 24977.2-81 ГОСТ 24977.3-81 ГОСТ 20996.4-82 ГОСТ 14338.2-82 ГОСТ 25278.10-82 ГОСТ 20996.7-82 ГОСТ 25278.4-82 ГОСТ 12556.1-82 ГОСТ 14339.1-82 ГОСТ 25278.9-82 ГОСТ 25278.1-82 ГОСТ 20996.9-82 ГОСТ 12554.1-83 ГОСТ 1367.4-83 ГОСТ 12555.1-83 ГОСТ 1367.6-83 ГОСТ 1367.3-83 ГОСТ 1367.9-83 ГОСТ 1367.10-83 ГОСТ 12554.2-83 ГОСТ 26239.4-84 ГОСТ 9816.2-84 ГОСТ 26473.9-85 ГОСТ 26473.0-85 ГОСТ 12645.11-86 ГОСТ 12645.12-86 ГОСТ 8775.3-87 ГОСТ 27973.0-88 ГОСТ 18904.8-89 ГОСТ 18904.6-89 ГОСТ 18385.0-89 ГОСТ 14339.5-91 ГОСТ 14339.3-91 ГОСТ 29103-91 ГОСТ 16321.1-70 ГОСТ 16883.2-71 ГОСТ 16882.1-71 ГОСТ 12223.0-76 ГОСТ 12552.2-77 ГОСТ 12645.3-77 ГОСТ 16274.2-77 ГОСТ 16274.10-77 ГОСТ 12552.1-77 ГОСТ 22720.1-77 ГОСТ 16274.4-77 ГОСТ 16274.7-77 ГОСТ 12228.1-78 ГОСТ 12561.1-78 ГОСТ 12558.2-78 ГОСТ 12224.1-78 ГОСТ 23862.22-79 ГОСТ 23862.21-79 ГОСТ 23687.2-79 ГОСТ 23862.25-79 ГОСТ 23862.19-79 ГОСТ 23862.4-79 ГОСТ 18385.1-79 ГОСТ 23687.1-79 ГОСТ 23862.34-79 ГОСТ 23862.17-79 ГОСТ 23862.27-79 ГОСТ 17614-80 ГОСТ 12340-81 ГОСТ 31291-2005 ГОСТ 20997.1-81 ГОСТ 20997.4-81 ГОСТ 20996.2-82 ГОСТ 12551.2-82 ГОСТ 12559.1-82 ГОСТ 1089-82 ГОСТ 12550.1-82 ГОСТ 20996.5-82 ГОСТ 20996.3-82 ГОСТ 12550.2-82 ГОСТ 20996.8-82 ГОСТ 14338.4-82 ГОСТ 25278.12-82 ГОСТ 25278.11-82 ГОСТ 12551.1-82 ГОСТ 25278.3-82 ГОСТ 20996.6-82 ГОСТ 25278.6-82 ГОСТ 14338.1-82 ГОСТ 14339.4-82 ГОСТ 20996.10-82 ГОСТ 20996.1-82 ГОСТ 12645.9-83 ГОСТ 12563.2-83 ГОСТ 19709.1-83 ГОСТ 1367.11-83 ГОСТ 1367.0-83 ГОСТ 19709.2-83 ГОСТ 12645.0-83 ГОСТ 12555.2-83 ГОСТ 1367.1-83 ГОСТ 9816.3-84 ГОСТ 9816.4-84 ГОСТ 9816.1-84 ГОСТ 9816.0-84 ГОСТ 26468-85 ГОСТ 26473.11-85 ГОСТ 26473.12-85 ГОСТ 26473.5-85 ГОСТ 26473.7-85 ГОСТ 16273.0-85 ГОСТ 26473.3-85 ГОСТ 26473.8-85 ГОСТ 26473.13-85 ГОСТ 25278.13-87 ГОСТ 25278.14-87 ГОСТ 8775.1-87 ГОСТ 25278.17-87 ГОСТ 18904.1-89 ГОСТ 18904.0-89 ГОСТ Р 51572-2000 ГОСТ 14316-91 ГОСТ Р 51704-2001 ГОСТ 16883.1-71 ГОСТ 16882.2-71 ГОСТ 16883.3-71 ГОСТ 8774-75 ГОСТ 12227.0-76 ГОСТ 12797-77 ГОСТ 16274.3-77 ГОСТ 12553.1-77 ГОСТ 12553.2-77 ГОСТ 16274.6-77 ГОСТ 22519.1-77 ГОСТ 16274.8-77 ГОСТ 12560.2-78 ГОСТ 23862.11-79 ГОСТ 23862.36-79 ГОСТ 23862.3-79 ГОСТ 23862.5-79 ГОСТ 18385.2-79 ГОСТ 23862.28-79 ГОСТ 16100-79 ГОСТ 23862.16-79 ГОСТ 23862.32-79 ГОСТ 20997.0-81 ГОСТ 14339.2-82 ГОСТ 12562.2-82 ГОСТ 25278.7-82 ГОСТ 20996.12-82 ГОСТ 12645.8-82 ГОСТ 20996.0-82 ГОСТ 12556.2-82 ГОСТ 25278.2-82 ГОСТ 12564.1-83 ГОСТ 1367.5-83 ГОСТ 25948-83 ГОСТ 1367.8-83 ГОСТ 1367.2-83 ГОСТ 12563.1-83 ГОСТ 9816.5-84 ГОСТ 26473.4-85 ГОСТ 26473.10-85 ГОСТ 12645.10-86 ГОСТ 8775.2-87 ГОСТ 25278.16-87 ГОСТ 8775.0-87 ГОСТ 8775.4-87 ГОСТ 12645.13-87 ГОСТ 27973.3-88 ГОСТ 27973.1-88 ГОСТ 27973.2-88 ГОСТ 18385.6-89 ГОСТ 18385.7-89 ГОСТ 28058-89 ГОСТ 18385.5-89 ГОСТ 10928-90 ГОСТ 14338.3-91 ГОСТ 10298-79 ГОСТ Р 51784-2001 ГОСТ 15527-2004 ГОСТ 28595-90 ГОСТ 28353.1-89 ГОСТ 28353.0-89 ГОСТ 28353.2-89 ГОСТ 28353.3-89 ГОСТ Р 52599-2006

ГОСТ 25948–83 (СТ СЭВ 3910−82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)


ГОСТ 25948−83
(СТ СЭВ 3910−82)

Группа В09
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ СТАНДАРТ СОЮЗА ССР

АРСЕНИД ГАЛЛИЯ И ФОСФИД ГАЛЛИЯ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ

Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла

Monocrystal gallium arsenide and gallium phosphide. Measurement of specific electric resistance and Hall-coefficient

ОКСТУ 1772

Срок действия с 01.01.85
до 01.01.90*
________________________________
* Ограничение срока действия снято
по протоколу N 4−93 Межгосударственного Совета
по стандартизации, метрологии и сертификации
(ИУС N 4, 1994 год). — Примечание изготовителя базы данных.

РАЗРАБОТАН Министерством цветной металлургии СССР

ИСПОЛНИТЕЛИ

А. В. Елютин, Н. Н. Соловьев, Н. И. Сучкова, В.М.Михайлов

ВНЕСЕН Министерством цветной металлургии СССР

Член Коллегии А. П..Снурников

УТВЕРЖДЕН И ВВЕДЕН В ДЕЙСТВИЕ Постановлением Государственного комитета СССР по стандартам от 28 октября 1983 г. N 5178

ВНЕСЕНО Изменение N 1, утвержденное и введенное в действие с 01.01.90 постановлением Госстандарта СССР от 22.03.89 N 606

Изменение N 1 внесено изготовителем базы данных по тексту ИУС N 6, 1989 год


Настоящий стандарт устанавливает метод измерения удельного электрического сопротивления, коэффициента Холла и определения типа электропроводности, концентрации и холловской подвижности основных носителей заряда для полупроводниковых материалов с удельным электрическим сопротивлением от 10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)до 10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см монокристаллических арсенида галлия и фосфида галлия.

Стандарт полностью соответствует СТ СЭВ 3910−82.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

1. СУЩНОСТЬ МЕТОДА

1.1. Определение удельного электрического сопротивления основано на измерении продольного электрического поля ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и плотности тока ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), вызываемого этим полем.

1.2. Определение коэффициента Холла основано на измерении поперечного электрического поля ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), возникающего в полупроводнике, помещенном в магнитное поле индукций ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)при протекании через него тока плотностью ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)в направлении, перпендикулярном магнитному полю.

1.3. Тип электропроводности полупроводникового материала устанавливают по знаку ЭДС Холла в соответствии с черт.1.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)


Черт.1*

_______________
* Чертеж 1. (Измененная редакция, Изм. N 1).

1.4. Концентрацию и подвижность основных носителей заряда определяют расчетным путем на основании данных по измерению удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла.

2. АППАРАТУРА

2.1. Структурная схема установки для измерения удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла представлена на черт.2.

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)


1 — измеряемый образец; 2 — магнит; 3 — источник постоянного тока; 4 — измерительное устройство; 5 — коммутирующее устройство

Черт.2


2.1.1. Измерительная установка должна быть аттестована. Основная относительная погрешность установки при контроле образцов с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см не должна превышать при измерении удельного электрического сопротивления ±5% и коэффициента Холла ±8%; при контроле образцов с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см не должна превышать соответственно ±12% и ±15%.

2.1.2. Допускается проведение измерений и обработка результатов с использованием средств автоматизации по алгоритмам, изложенным в настоящем стандарте, в частности использование установок типа «Холл-100», «Холл-200» при условии соблюдения требований п. 2.1.1.

2.1.1, 2.1.2. (Введены дополнительно, Изм. N 1).

2.2. Требования к элементам структурной схемы в зависимости от параметров измеряемого материала приведены в табл.1−2.

2.2.1. Магнит, обеспечивающий создание магнитных полей изменяемой полярности, должен удовлетворять требованиям табл.1.

Таблица 1

       
Наименование материала

Подвижность основных носителей заряда ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), смГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), не более

Магнитная индукция в зазоре магнита В, Тл, не более
Допустимая неоднородность магнитного поля в области измерения, %, не более

Арсенид галлия ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — и ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)-типа электропроводности

3·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1,0
±3
 

7·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

0,7
 
 

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

0,5
 

Фосфид галлия ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — и ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)-типа электропроводности

2·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1,0
±3


Примечание. Измерение коэффициента Холла в арсениде галлия ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)-типа электропроводности с концентрацией основных носителей заряда более 1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)смГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)выполняют при значении В не менее 0,7 Тл.


2.2.2. Источник постоянного тока, обеспечивающий создание в измерительной цепи электрического тока изменяемой полярности, должен удовлетворять требованиям табл.2. Погрешность регистрации электрического тока не должна превышать 1% при измерении материала с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см и 3% при измерении полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см.

Таблица 2

         

Удельное электрическое сопротивление ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), Ом·см, не более

Значение электрического тока ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), А, не более

Допустимая нестабильность электрического тока за время измерения, %, не более

Входное электрическое сопротивление измерительного прибора ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), Ом, не менее

Чувствительность измерительного прибора, ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

5·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

5·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±1

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

3·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

2·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±1

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±1

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±1

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±1

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±1

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±1

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±1

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

5·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±5

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

5·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±5

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

5·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±5

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

5·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

±5

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

2.2.1, 2.2.2. (Измененная редакция, Изм. N 1).

2.2.3. Прибор для измерения электрического напряжения должен удовлетворять требованиям табл.2.

Погрешность измерения электрического напряжения не должна превышать 1% при контроле материала с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см и 2,5% — при контроле полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см.

2.2.4. Коммутирующее устройство должно обеспечивать при контроле одного образца проведение измерительных операций с использованием одного измерительного прибора. Значение величины электрического сопротивления изоляции контактов коммутирующего устройства не должно быть менее входного электрического сопротивления измерительного устройства.

2.2.3, 2.2.4. (Измененная редакция, Изм. N 1).

2.3. Вспомогательные средства

2.3.1. Держатель образца должен обеспечивать:

перпендикулярность плоскости образца направлению магнитного поля с отклонением от перпендикулярности не более ±3°;

возможность проведения измерений при затемнении образца;

соответствие электроизоляционных свойств конструкционных материалов сопротивлению измерительного прибора.

2.3.2 Микрометр или другой инструмент для измерения толщины образца с погрешностью не более 1·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)см и с погрешностью не более 3·10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)см для измерения толщины ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)0,06 см.

2.3.3. (Исключен, Изм. N 1).

2.3.4. Прибор для измерения абсолютного значения, магнитной индукции с погрешностью не более 2%.

2.3.5. Термометр с погрешностью измерения не более 0,5 К.

3. МЕТОДЫ ОТБОРА ОБРАЗЦОВ

3.1. Измерения проводят на образцах в виде плоскопараллельных пластин в форме квадрата (черт.3) или произвольной формы, либо на образцах крестообразной формы (черт.4).

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)


Черт.3

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)


Черт.4

(Измененная редакция, Изм. N 1).

3.1.1. Допускается проводить измерения на образцах в форме параллелепипеда, удовлетворяющих требованиям к образцам крестообразной формы (табл.3).

(Введен дополнительно, Изм. N 1).

3.2. Измерения полуизолирующего материала с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)>10ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см проводят на образцах крестообразной формы (либо в форме параллелепипеда).

3.3. Требования к характеристикам образцов приведены в табл.3.

Таблица 3

             
Форма образца

Длина образца ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), см

Ширина образца ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), см

Толщина образца ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), см

Допускаемое отклонение от средней толщины образца, %,
не более

Расстояние между контактами
1 и 2, 3 и 4
ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

Отношение линейных размеров контактов к минимальному расстоянию между ними, не более
Пластина
не менее 0,5 не менее 0,5 0,02−0,1
±5
-
0,1
      >0,1−0,2
±2,5
-
0,1
Крест

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

0,02−0,1
±5

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

-
      >0,1−0,2
±2,5
   

Для пластин произвольной формы поперечный размер образца должен быть не менее 0,7 см.

3.2, 3.3. (Измененная редакция, Изм. N 1).

4. ПОДГОТОВКА К ИЗМЕРЕНИЯМ

4.1. На образец крестообразной формы наносят шесть электрических контактов.

4.2. На образец в виде плоскопараллельной пластины наносят четыре электрических контакта, располагая их на торцовой поверхности или периферии пластины.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

4.3. Электрические контакты должны обладать:

линейной вольт-амперной характеристикой (результаты измерения не должны зависеть от конкретных режимов измерений);

малым переходным сопротивлением (рекомендуемые методы оценки устанавливаются в зависимости от вида полупроводниковых монокристаллических материалов).

4.4. Перед выполнением измерений электрофизических параметров измеряют геометрические размеры образца.

4.4.1. Толщину образца в виде плоскопараллельной пластины измеряют в трех точках: одной в центре и двух на периферии пластины. Если поперечный линейный размер образца превышает 5 см, толщину образца измеряют в 5 точках: одной в центре и четырех на периферии образца. За результат измерения толщины принимают среднее арифметическое полученных значений.

4.4.2. Геометрические размеры образцов крестообразной формы измеряют два раза в противоположных концах образца. За результат измерений принимают среднее арифметическое полученных значений.

4.4, 4.4.1, 4.4.2. (Введены дополнительно, Изм. N 1).

5. ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ

5.1. Измерения проводят при фиксированной температуре. Допускаемое отклонение температуры за время измерения не более 0,5 К.

5.2. Проведение измерений на образцах в виде плоскопараллельных пластин.

5.2.1. Образец устанавливают в держатель и пропускают через него электрический ток, используя соседнюю по периметру образца пару контактов. Фиксируют значение тока ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и разности потенциалов ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), возникающей на второй паре контактов, в следующем порядке:

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1).


(Измененная редакция, Изм. N 1).

5.2.2. Вводят магнитное поле, фиксируют значения тока ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), магнитной индукции ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и разности потенциалов ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)в следующем порядке:

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)

Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт.3). Значения токов при измерениях в пределах одного пункта (5.2.1 или 5.2.2) должны быть одинаковыми; значения токов при выполнении измерений по разным пунктам могут различаться в пределах требования табл.2.

5.3. Проведение измерений на образцах крестообразной формы

5.3.1. Образец устанавливают в держатель и пропускают через него электрический ток. Фиксируют значения электрического тока в двух направлениях ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и разности потенциалов ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1):

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1).

5.3.2. Вводят магнитное поле, фиксируют значения магнитной индукции В, электрического тока в двух направлениях ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и разности потенциалов ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1):

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1).

Цифровые индексы соответствуют контактам образца (черт.4).

6. ОБРАБОТКА РЕЗУЛЬТАТОВ

6.1. Обработка результатов измерений на образце в форме плоскопараллельной пластины

6.1.1. Значения напряжений ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и коэффициенты ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)вычисляют по формулам:

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (1)

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (2)

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (3)

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1). (4)


При вычислении значений напряжений ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и коэффициентов ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях.

При определении коэффициентов ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)делят большую сумму на меньшую, чтобы получить результат более 1.

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (5)


ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1). (6)


При определении значений ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

6.1.2. Определяют поправочные коэффициенты ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), в соответствии с обязательным приложением.

6.1.3. Средние значения напряжений ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)и ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)вычисляют по формулам:

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (7)


ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1). (8)


6.1.4. Удельное электрическое сопротивление ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), Ом·см, вычисляют по формуле

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), (9)


где ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — значение электрического тока, при котором проводились измерения по п. 5.2.1, А;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — толщина измеряемого образца, см;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — среднее значение напряжения при измерении удельного электрического сопротивления, В.

6.1.5. Коэффициент Холла ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), смГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)/Кл, вычисляют по формуле

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), (10)


где ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — значение индукции магнитного поля, Т;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — значение электрического тока, при котором проводились измерения по п. 5.2.2, А;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — среднее значение ЭДС Холла, В.

6.1.6. Концентрацию основных носителей заряда ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), смГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), вычисляют по формуле

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), (11)


где ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — заряд электрона; ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Кл;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — холловский фактор, принимаемый равным 1.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

6.1.7. Холловскую подвижность основных носителей заряда ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), смГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), вычисляют по формуле

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1). (12)


6.2. Обработка результатов измерений на образце крестообразной формы

6.2.1. Значения напряжений ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)вычисляют по формулам:

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (13)


ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (14)


ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1). (15)


При определении значений ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — алгебраически учитывают знаки величин, полученных при измерениях.

(Измененная редакция, Изм. N 1).

6.2.2. Средние значения ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)вычисляют по формулам:

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (16)


ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (17)


ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1). (18)


6.2.3. Удельное электрическое сопротивление ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), Ом·см, и коэффициент Холла ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), смГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)/Кл, вычисляют по формулам:

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (19)


ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), (20)


где ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — значения электрического тока, вычисленные по формулам (17) и (18), А;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — площадь поперечного сечения образца, смГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1): ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1),

где ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — толщина образца, см;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — ширина образца, см;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — значения напряжений, вычисленные по формулам (13), (16), В;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — значение индукции магнитного поля в зазоре магнита, Т;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — расстояние между контактами 1 и 2, 3 и 4, см (чер

т.4).

6.2.4. Концентрацию и подвижность основных носителей заряда вычисляют по формулам (11) и (12).

6.2.5. Значения удельного электрического сопротивления и концентрации основных носителей заряда в полуизолирующих материалах (ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см) могут быть приведены к температуре ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)по формулам

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (21)


ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1); (22)


ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), (23)


где ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — постоянная Больцмана; ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)эВ КГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1);

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — температура измерения, К;

ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1) — энергия активации глубокого примесного центра, определяющего полуизолирующие свойства материала, эВ.

Для GaAs ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)-типа электропроводности ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)эВ.

Для GaPГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)э

В.

6.2.6. Результаты измерений представляют числом с тремя значащими цифрами с указанием порядка величины. Результаты измерений и вычислений округляют в соответствии с правилом: если первая (справа налево) из отбрасываемых цифр более или равна 5, то последнюю цифру увеличивают на 1; если менее 5, то оставшиеся цифры не изменяют.

6.2.7. Интервал, в котором находится минимальное значение суммарной погрешности измерения удельного электрического сопротивления с доверительной вероятностью ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), составляет ±5% для образцов с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см; ±12% для образцов с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см.

6.2.8. Интервал, в котором находится минимальное значение суммарной погрешности измерения концентрации основных носителей заряда с доверительной вероятностью ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), составляет ±8% для образцов с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см; ±15% для образцов с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см.

6.2.9. Интервал, в котором находится минимальное значение суммарной погрешности измерения подвижности основных носителей заряда с доверительной вероятностью ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1), составляет ±8% для образцов с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см; ±10% для образцов с удельным электрическим сопротивлением ГОСТ 25948-83 (СТ СЭВ 3910-82) Арсенид галлия и фосфид галлия монокристаллические. Измерение удельного электрического сопротивления и коэффициента Холла (с Изменением N 1)Ом·см.

6.2.10. Наличие в контролируемом образце посторонних включений, неоднородности распределения электрофизических параметров приводит к увеличению суммарной погрешности измерений, которую устанавливают при метрологической аттестации метода применительно к конкретной продукции.

6.2.5−6.2.10. (Введены дополнительно, Изм. N 1).

6.3−6.9. (Исключены, Изм. N 1).